本書總結了納米薄膜材料的國內外研究最新進展，既詳細地介紹了納米薄膜材料的制備方法，又介紹了它們在電子器件領域的應用。系統闡述了薄膜及納米結構的一系列制備技術，不僅包括溶膠凝膠法、MOCVD、電子束沉積、磁控濺射等傳統技術，還包括近年來新發展起來的高分子輔助沉積法、3D打印、液相-電子束誘導沉積等技術。此外，本書還對納米薄膜及其它納米結構的一些典型應用做了介紹，并給出實例，包括磁性薄膜的應用、氧化物薄膜在燃料電池領域的應用、相變材料在存儲器領域的應用和柔性薄膜器件等。本書適合材料、微電子等相關專業的研究生、科技人員和教學人員使用。